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產(chǎn)品優(yōu)勢
可掛載
可掛載
可掛載到符合SEMI標準的EFEM上
自動(dòng)識別
自動(dòng)識別
自動(dòng)識別盒內晶圓尺寸以及盒內各槽晶圓狀態(tài)
防夾手功能
防夾手功能
內置防夾手功能
RFID
RFID
具有RFID讀取功能
產(chǎn)品參數
重復位置精度
±0.1mm
晶圓尺寸
8 " 12 "
下載信息驗證

服務(wù)熱線(xiàn)

400-800-8666

業(yè)務(wù)咨詢(xún)

公眾號

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