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SMIF是一種晶圓裝載與檢測集成裝置，適用于150mm和200mm晶圓盒的自動(dòng)開(kāi)關(guān)盒，效率高，穩定性好，重復定位精度高，潔凈等級為Class1；具有兼容150mm和200mm晶圓的mapping功能，能自動(dòng)檢測盒內各槽晶圓狀態(tài)，例如單片、跨片；具有實(shí)時(shí)檢測的機械手互鎖和光柵互鎖功能，可以有效保護機械手以及人身安全；具有RFID讀取功能。

產(chǎn)品優(yōu)勢

可掛載

可掛載到符合SEMI標準的EFEM上

自動(dòng)識別

自動(dòng)識別盒內晶圓尺寸以及盒內各槽晶圓狀態(tài)

防夾手功能

內置防夾手功能

RFID

具有RFID讀取功能

產(chǎn)品參數

重復位置精度

±0.1mm

晶圓尺寸

6 " 8 "

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