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產(chǎn)品優(yōu)勢
一體成型設計
一體成型設計
整機一體成型設計
自主研發(fā)
自主研發(fā)
自主研發(fā)FTR機械手，適配多類(lèi)型300mm FOUP
搭載雙口開(kāi)盒器
搭載雙口開(kāi)盒器
后端搭載雙口開(kāi)盒器（FIMS），實(shí)現Front N2 purge
可選配
可選配
可選配Shelf N2 purge
產(chǎn)品參數
負載
≤10kg
重復位置精度
±0.1mm
工位數
18
振動(dòng)
≤0.45g
下載信息驗證

服務(wù)熱線(xiàn)

400-800-8666

業(yè)務(wù)咨詢(xún)

公眾號

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