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大氣機械手Blade S系列
大氣機械手是用于半導體制造中晶圓傳輸的關(guān)鍵設備,新松大氣機械手具有高潔凈等級、高速傳片及具有碰撞保護功能,擁有完全自主知識產(chǎn)權,可以迎合個(gè)性化設計末端執行器及定制接口。手臂采用先進(jìn)的結構加強了手臂的剛性,并有效抑制振動(dòng),輕量化設計滿(mǎn)足高速要求,是半導體行業(yè)的優(yōu)勢之選。
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晶圓傳輸機器人
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大氣機械手Blade S系列
產(chǎn)品優(yōu)勢
質(zhì)量可靠
高品質(zhì)零部件,精密裝配,嚴格檢驗,高壽命
個(gè)性化設計
用戶(hù)可定制手指及接口
符合SEMI標準
Blade系列大氣機械手已通過(guò)SEMI認證
全自研解決方案
核心部件自主研發(fā)
產(chǎn)品參數
晶圓尺寸
3 " 4 " 6 " 8 " 12 "
機械手重復精度
≤ ±0.1mm
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