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產(chǎn)品優(yōu)勢
全自研解決方案
全自研解決方案
大氣手、Aligner、SMIF，Loadport等核心部件均自主研發(fā)
尺寸多樣性
尺寸多樣性
有包括TSS系列的產(chǎn)品，有1-4工位多種產(chǎn)品
符合SEMI標準
符合SEMI標準
已通過(guò)SEMI S2 F47 認證
兼容性強
兼容性強
可根據用戶(hù)的實(shí)際需求進(jìn)行非標定制
產(chǎn)品參數
晶圓尺寸
3 " 4 " 6 " 8 " 12 "
Loadport數量
1 / 2 / 3 / 4
機械手重復精度
≤ ±0.1mm
晶圓傳輸量WPH
≥200
下載信息驗證

服務(wù)熱線(xiàn)

400-800-8666

業(yè)務(wù)咨詢(xún)

公眾號

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