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3月25日，SEMICON China 2026 在上海新國際博覽中心隆重開(kāi)幕，SEMICON China國際半導體展是全球規模最大、影響面最廣的集技術(shù)、產(chǎn)業(yè)、市場(chǎng)、創(chuàng )新、投資于一身的半導體產(chǎn)業(yè)盛會(huì )。此次展會(huì )，新松半導體攜真空直驅機械手亮相。

新松展位▼

在SEMICON China 現場(chǎng)，新松展出的真空直驅機械手得到現場(chǎng)觀(guān)眾廣泛關(guān)注。該產(chǎn)品是半導體制程的核心傳輸設備之一，解決了真空腔室內晶圓自動(dòng)化輸送的“卡脖子”難題。新松真空直驅機械手采用直驅電機結構，最大限度減少震動(dòng)，保障傳輸過(guò)程安全、穩定、可靠。產(chǎn)品擁有領(lǐng)先的重復定位精度、高效的傳輸節拍、靈敏的碰撞保護以及AWC動(dòng)態(tài)糾偏等功能，可根據用戶(hù)需求定制手臂長(cháng)度和手指形式，勝任不同尺寸規格的晶圓搬運。

新松真空直驅機械手已通過(guò)SEMI權威認證，廣泛應用于PVD、CVD、刻蝕等集成電路整機裝備中，打破國外技術(shù)壟斷，核心技術(shù)完全自主可控。

新松半導體總經(jīng)理程龍與客戶(hù)洽談交流▼

來(lái)自各國的客戶(hù)蒞臨新松展位參觀(guān)交流▼

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新松半導體設備有限公司簡(jiǎn)介

新松半導體設備有限公司業(yè)務(wù)涵蓋半導體晶圓傳輸專(zhuān)用設備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售與技術(shù)服務(wù)。打造了擁有完全自主知識產(chǎn)權的自動(dòng)化核心系列產(chǎn)品，技術(shù)指標達到國際同類(lèi)產(chǎn)品先進(jìn)水平。創(chuàng )新產(chǎn)品現已廣泛運用于各種半導體工藝制程,為世界各地的的半導體設備供應商提供高效和可靠的自動(dòng)化解決方案。

新松半導體核心產(chǎn)品主要為真空機械手及集束型設備，包括大氣機械手、EFEM、真空機械手及真空傳輸平臺等系列產(chǎn)品，主要應用于刻蝕、薄膜沉積、離子注入等工藝環(huán)節及領(lǐng)域，廣泛服務(wù)于硅片生產(chǎn)、晶圓加工、先進(jìn)封裝及封裝測試等半導體制造全產(chǎn)業(yè)鏈。

SEMICON China 2026

時(shí)間：2026年3月25-27日

地點(diǎn)：上海·新國際博覽中心

展位號：N3·3243